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SP25M連續(xù)掃描測(cè)頭

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SP25M規(guī)格

安裝 雷尼紹自動(dòng)吸附:PH10M、PH10MQ或PH6M
可安裝在自動(dòng)吸附加長(zhǎng)桿上
適合的接口 可以是:UCC控制器
或:用于未安裝UCC控制器的機(jī)器的AC3計(jì)算機(jī)接口卡
測(cè)頭屬性

三軸模擬測(cè)量 (X, Y, Z)
在XY平面的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),Z方向有平移

SM25-5:在三個(gè)軸XYZ方向均有平面平移

測(cè)量范圍

在X、Y和Z方向?yàn)?plusmn;0.5 mm

SM25-5:±0.3 mm

超程范圍

在X和Y方向?yàn)?plusmn;2.0 mm
+Z方向?yàn)?.7 mm
–Z方向?yàn)?.2 mm

SM25-5:
±X, ±Y = 0.95 mm
+Z = 1.0 mm
-Z = 1.1 mm

碰撞保護(hù) X, Y, –Z — 模塊或測(cè)針架折斷
+Z — 內(nèi)置緩沖塊設(shè)計(jì)
分辨率 使用UCC2子卡或AC3接口卡時(shí)< 0.1 μm
彈簧剛性 標(biāo)稱(chēng)值為0.2 N/mm到0.6 N/mm,取決于測(cè)針長(zhǎng)度
減振

單個(gè)粘性流體減振器

SM25-5:兩個(gè)粘性流體減振器

電源 測(cè)頭為+12 V (±5%)、–12 V (+10% / –8%)、+5 V (+10% / –13%) 直流電
輸出 (X,Y,Z)

非線性及非正交模擬輸出 — 速率、增益和分辨率不固定
SP25M要求使用非線性三次多項(xiàng)式標(biāo)定。

測(cè)針系列 M3

SP25M模塊和測(cè)針架


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