8寸大行程移動工作平臺,長工作距半復明暗場消色差物鏡,圖像銳利清晰,廣泛應用于晶圓、FPD等各項工業檢測。工業檢測級顯微鏡鏡體,高剛性、高穩定性金屬機架,保證了系統的抗震能力與成像穩定性。
技術規格:Technical specifications
光學系統 | 無限遠色差光學系統 |
觀察方式 | 明場/暗場/偏光/DIC |
觀察筒 | 30°傾斜,正像,無限遠鉸鏈三通觀察筒,曈距調節:50-76mm,分光比:100:0或0:100 |
目鏡 | 高眼點大視野平場目鏡PL10X/25mm,視度可調,可帶單刻度十字分劃板 |
物鏡 | 無限遠長工作距平場明暗場消色差金相物鏡(5X、10X、20X、50X 、 100X) |
轉換器 | 明暗場五孔轉換器,帶DIC插槽 |
明暗場、明場六孔轉換器,帶DIC插槽 | |
明場七孔轉換器,帶DIC插槽 | |
調焦機構 | 反射式機架,前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程33mm,微調精度0.001mm ;帶有防止下滑的調節松緊裝置和隨機上限位裝置;內置100-240V寬電壓系統,帶光亮度設定暗扭與復位按扭 |
明暗場反射照明器,帶可變孔徑光闌,視場光闌,中心均可調;帶明暗場照明切換裝置;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽 | |
載物臺 | 8英寸三層機械移動平臺,低手位X、Y方向同軸調節;平臺面積525mmx330mm,移動范圍: 210mmx210mm ;帶離合器手柄,可用于全行程范圍內快速移動;玻璃載物臺板,(反射用) |
反射照明系統 | 明暗場反射照明器,帶可變孔徑光闌,視場光闌,中心均可調;帶明暗場照明切換裝置;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽 |
其他附件 | 攝影攝像附件:0.5X,C型接口,可調焦 |
起偏鏡插板,固定式檢偏鏡插板,360°旋轉式檢偏鏡插板 | |
USB3.0相機。600萬,1200萬,2000萬像素。 測量軟件(金相分析,顆粒分析,清潔度,孔隙率) |
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