桌面單點測量低成本的臺式少子壽命測量系統,對不同制備階段的硅材料電學參數進行表征
桌面單點測量
低成本的臺式少子壽命測量系統,對不同制備階段的硅材料電學參數進行表征。樣品 | 不同工藝處理樣品,如鈍化或擴散后的單晶或多晶硅晶圓、晶錠、電池等 |
樣品尺寸 | 50 x 50 mm² 到12“ 或210 x 210 mm² |
電阻率 | 0.2 - 10³ Ohm cm |
材質 | 硅晶圓,晶錠,部分或全部加工晶圓,化合物半導體和其它類型 |
少子壽命檢測范圍 | 20ns到幾十ms |
尺寸 | 360 x 360 x 520 mm,質量:16 kg |
電源 | 110/220 V, 50/60 Hz, 3 A |
![]() |
![]() |
![]() |
![]() |
![]() |
![]() |
*您想獲取產品的資料:
個人信息: