軟X射線分析譜儀(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通過組合新開發的衍射光柵和高靈敏度Ｘ射線CCD相機，實現了的能量分辨率。 和EDS一樣可以并行檢測，并且能以0.3eV(費米邊處Al-L基準)的能量分辨率進行分析，超過了WDS的能量分辨率。

性能特點

產品規格
能量分辨率0.3eV（Al-L 光譜圖73eV處測試）
獲取能量范圍：衍射光柵JS50XL的能區50-170eV
獲取能量范圍：衍射光柵JS50XL的能區70-210eV
分光譜儀艙安裝位置：
EPMA的WDS接口：NO.2接口（正面右側）
FE-SEM的WDS接口（正面左后側）
分光譜儀尺寸 W 168mm×D 348mm ×H 683mm
* 從接口包括CCD的距離
分光譜儀重量 25kg
適用機型

EPMA ： JXA-8530F, JXA-8230, JXA-8500F, JXA-8200
SEM ： JSM-7800F, JSM-7800 Prime, JSM-7100F

應用領域

電子探針可以對試樣中微小區域（微米級）的化學組成進行定性或定量分析，可以進行點、線掃描（得到層成分分布信息）、面掃描分析（得到成分面分布圖像）。還能全自動進行批量定量分析。由于電子探針技術具有操作迅速簡便、實驗結果的解釋直截了當、分析過程不損壞樣品、測量準確度較高等優點，在冶金、地質、電子材料、生物、醫學、考古以及其它領域中得到日益**地應用，是礦物測試分析和樣品成分分析的重要工具。