技術參數： 儀器尺寸：450mm W x 500mm D x 300mm H 工作腔室：硼硅酸鹽玻璃，帶有鉸鏈式頂蓋。250mm Dia x 300mm H（樣品可達直徑200 mm即8"） 安全鐘罩：聚碳酸酯，維護時工作腔室很容易移開 重量：65Kg 碳槍：高度可調，傾斜0-20o ，使用直徑6.15mm碳棒 渦輪分子泵：100L/Second為標準配置，可選各種尺寸 真空計范圍：ATM - 1x10-7mbar 工作真空達到時間：15分鐘內 操作真空：10-5 mbar量級（可選液氮冷阱） 蒸發源（脈沖或可變控制）：四種模式可選，低電壓 a.c. V, 5V, 15V,25V @ 25 amps. 7V @100 amps 樣品臺：0-45o可傾斜 旋轉樣品臺（可選）：直徑60mm，傾斜0-45o，具有 15rpm 到 45rpm可變速度控制 Services –Argon（對可選濺射附件） - Nominal 4psi. 真空泵：No. 2 泵(2m3/Hr)，complete with Vacuum Hose & Oil Mist Filter 電源：230V 50/60Hz (包含泵電流為8 Amp)； 115V 50/60Hz (包含泵電流為16 Amp) 注：In Circuits with Current Trips , when using Pulse for 230 v a 16amp minimum for 115 v a 32 amp minimum
