主要特點:
HPLK三軸系統為設計者提供了一種簡單高效的大面積掃描解決方案,可適用于那些工作面積較大,小光斑的應用中。當工作面積和掃描孔徑增大時,與之相匹配的平場透鏡的價格會呈指數上升,而HPLK則采用了的高速動態聚焦模塊,從而有效控制住成本。
我們將聚焦鏡放置于掃描頭前,這樣其尺寸就變得無關緊要了。靈活的設計使HPLK系統只用一個簡單經濟的鏡頭組就足以應付各種尺寸的視場。為了維持高精確度,HPLK結合了*的熱調節動磁式振鏡,并通過精密MiniSAX伺服控制器控制,同時兼容GSI的WinMCL Plus和PCMARK MT控制軟件。
主要技術參數:
激光類型 | CO2 | CO2 | YAG | TYH/HeCd | DYH/Ar+ |
波長 | IR 10,600 nm | IR 10,600 nm | IR 1,064 nm | UV 325-355 nm | 488-532 nm |
掃描頭孔徑(mm) | 50 | 30 | 30 | 20 | 20 |
掃描范圍 (mm x mm) | 100 - 2,000 | 100 - 2,000 | 30 - 3,000 | 100 - 2,500 | 190 - 3,000 |
入射光直徑 (mm) | 9, 17 | 9, 17 | 6 | 1.3 – 3.3 | 2.4 |
功率cw (W) | 200, 500+ | 100,200,500+ | 150 | 80 | 80 |
增益漂移 (ppm/ ºC, typ.) | 25 | 25 | 25 | 25 | 25 |
失調漂移 (μmR/ ºC, typ.) | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 |
樣品面積 (mm x mm) | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 |
光斑直徑 (μm) | 210 | 350 | 40 | 16 | 30 |
重復性 (μm) | 12 | 12 | 12 | 12 | 12 |
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