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SD-800C

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熱蒸發

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SD-800C型熱蒸發鍍膜儀把待鍍膜的基片或工件置于真空室內,通過對鍍膜材料加熱使其蒸發氣化而沉積與基體或工件表面并形成薄膜或涂層的工藝過程。

配有高位定性的飛躍真空泵


The ETD-800C type thermal evaporation coating apparatus places the substrate or workpiece on the coating in avacuum chamber and evaporates and vaporates it by heating the coating material to form a film or coating process on the

surface of the substrate or the workpiece.

Vacuum pump equipped with high quality

參數

配套泵

蒸發靶材

蒸發電流

極限真空

樣品倉尺寸

樣品臺尺寸

工作電壓

兩升飛躍泵

碳棒

*電流

100A,工作電流0-80A

4*10-2mbar

直徑

160,

高120mm

樣品臺尺寸直徑150mm

220V,

50HZ


需要鍍膜的樣品


電子束敏感的樣品 非導電的樣品 新材料

主要包括生物樣品,塑料樣品等。

S EM中的電子束具有較高能量,

在與樣品的相互作用過程中,

它以熱的形式將部分能量傳遞給樣品。

如果樣品是對電子束敏感的材料,

那這種相互作用會破壞部分

甚至整個樣品結構。這種情況下,

用一種非電子束敏感材料制備

的表面鍍層就可以起到

保護層的作用,防止此類損傷;

由于樣品不導電,其表面帶有“電子陷阱”,

這種表面上的電子積累被稱為“充電”。

為了消除荷電效應,可在樣品表面鍍一

層金屬導電層,鍍層作為一個導電通道,

將充電電子從材料表面轉移走,

消除荷電效應。在掃描電鏡成像時,

濺射材料增加信噪比,

從而獲得更好的成像質量。

非導電材料實驗電極制作

觀察導電特性


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