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CAD導(dǎo)航系統(tǒng) 故障分析導(dǎo)航系統(tǒng) (NASFA)

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該導(dǎo)航系統(tǒng)可以將CAD數(shù)據(jù)的布線和大規(guī)模集成電路的設(shè)計(jì)圖形和FIB系統(tǒng)中的坐標(biāo)位置,樣品臺就會通過鏈接移動到相應(yīng)位置,就可以獲得相應(yīng)位置的SIM圖像。同時(shí),CAD數(shù)據(jù)和SIM圖像也可以重疊顯示。因此,很容易檢查到下層布線的狀態(tài),實(shí)質(zhì)上提高了分析的效率,有利于進(jìn)一步進(jìn)行修理工作。

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  • 場發(fā)射掃描電子顯微鏡 (FE-SEM)
  • 透射電子顯微鏡 (TEM/STEM)


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