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PS4L FA-x Semiprobe全自動探針臺-量產型全自動探針臺-全自動探針臺

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全自動探針臺SemiProbe采用了 SemiProbe 技術 Probe System for Life (PS4L)可適應性模塊化結構設計,提供了*的靈活性并大大地節省了設備資金和費用。與傳統的探針臺相比,SemiProbe 的 PS4L 系列探針臺中所有的基礎模塊-基座,卡盤支架,卡盤,顯微鏡裝置,顯微鏡移動,光學組件,操縱器等都是可以更換的,使得 PS4L 系列探針臺以其*的靈活性和性價比滿足了多種應用需求,為客戶提供了非常經濟適用以及完美的解決方案。更重要的是,PS4L可隨著測試環境和測試條件的改變進行現場升級以滿足新的要求。這樣的設計理念使得即使當晶圓尺寸,自動化的程度或者測試要求發生改變時,PS4L 也無需重新更換新的平臺,便可用短的時效和少的費用完成測試。

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Semiprobe全自動探針臺-量產型全自動探針臺-全自動探針臺 產品描述:

Semiprobe全自動探針臺-量產型全自動探針臺-全自動探針臺 采用了 SemiProbe 技術 Probe System for Life (PS4L)可適應性模塊化結構設計,提供了*的靈活性并大大地節省了設備資金和費用。與傳統的探針臺相比,SemiProbe 的 PS4L 系列探針臺中所有的基礎模塊-基座,卡盤支架,卡盤,顯微鏡裝置,顯微鏡移動,光學組件,操縱器等都是可以更換的,使得 PS4L 系列探針臺以其*的靈活性和性價比滿足了多種應用需求,為客戶提供了非常經濟適用以及完美的解決方案。更重要的是,PS4L的模塊化結構設計,可以使探針臺在一個基本平臺的基礎上不斷的進行升級。可根據測試環境和測試條件的改變而進行現場升級,由手動探針臺升級為半自動探針臺,半自動探針臺升級為全自動探針臺,或者6”升級為8”,8”升級為12”,增加密閉測試倉,增加高低溫等,以滿足用戶新的要求。這樣的設計理念使得即使當晶圓尺寸,自動化的程度或者測試要求發生改變時,PS4L 也無需重新更換新的平臺,便可用短的時效和少的費用完成測試。

Semiprobe全自動探針臺-量產型全自動探針臺-全自動探針臺 機臺

Semiprobe全自動探針臺-量產型全自動探針臺-全自動探針臺 PILOT控制軟件:

Semiprobe全自動探針臺-量產型全自動探針臺-全自動探針臺 控制軟件

SemiProbe的全自動探針系統使用 SemiProbe 的 PILOT 控制軟件包進行操作,軟件和 PS4L 硬件一樣采用的是SemiProbe 技術 Probe System for Life (PS4L)可適應性結構化設計。PILOT 軟件包是一款模塊化、直觀且易操作的軟件。在不改變核心控制軟件的前提上,客戶可增添控制模塊來增加額外功能和附件。其一般的功能比如2點校準,功能強大且易操作——甚至不經常操作設備的用戶也非常容易上手。

產品特點:

  • 同一系統可滿足多種應用需求—— DC,高頻率,OPTO,MEMS 以及更多
  • 有三種操作模式可選:全自動(不間斷工作)、半自動和手動
  • 可處理不同尺寸的晶圓
  • 可測試芯片、晶圓
  • 可處理薄的和彎曲的晶圓或者硅和III-V 族化合物
  • 靈活的 PILOT 控制軟件- 自動晶圓和芯片對準,Z 高度探測和分析,晶圓形貌,界面和更多。
  • 可提供多種配件-熱夾盤,光學部件,CCTV 系統,條形碼閱讀器,OCR,操縱器,探針卡和更多。
  • 模塊化結構設計,具有*的靈活性
  • 系統可升級:6”升級為8”,8”升級為12”等

應用范圍:

  • 光伏工業
  • 材料科學
  • 光電行業
  • 失效分析
  • 通信器件測試
  • 微機電技術
  • 高頻/微波測試
  • 半導體技術

技術參數(型號:PS4L FA-6)

  • 產品尺寸:900 mm x 1625 mm x 2438 mm
  • 重量:240Kg
  • 輸入電壓:110/220V 50/60Hz,20A
  • 真空:23 Hg or -0.8 bar
  • 卡盤X-Y軸軌道: NEMA 17步進電機,光學線性編碼器
  • 行程:155*155mm(可升級)
  • 速度:50mm/s(大)
  • 平面性:±8μm
  • 分辨率:0.1μm
  • 精度:±3μm
  • 重復性:±0.5μm
  • 卡盤Z軸軌道:行程:15mm
  • 分辨率:0.5μm
  • 重復性:±1.5μm
  • θ移動:行程:±4°(可定制)
  • 分辨率:0.00001°
  • 卡盤類型:真空或機械夾緊,圓形或方形,三軸,高頻,高壓/高電流,高低溫等
  • 壓盤:鋁和不銹鋼頂部,可拆卸前楔
  • 360度機械手放置
  • 壓盤位移:可選擇固定和線性調節
  • 線性調節范圍:40mm粗調,200um微調

可選配件:

包括探針卡,操縱器,操縱臂和基座, 探針,激光,光學部件,CCTV 系統,隔振臺,暗箱。

Semiprobe全自動探針臺-量產型全自動探針臺-全自動探針臺 配件

標簽:手動探針臺探針臺隔振隔振臺


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