公司介紹:
德國Microworks 公司成立于 2007年, 是卡爾斯魯厄理工學院(KIT)微技術研究所 (IMT) 衍生的子公司。通過使用X 射線和激光LIGA技術,Microworks為客戶提供高精度微結構的產品。在微納米技術領域,Microworks代表著高精度。在一個晶片內或者從一個晶片到另一個晶片,其高縱橫比和精度可以遠低于1µm。其產品涵蓋相襯成像光柵、微齒輪、雙曲型電極、精密篩、近紅外濾波器(選頻濾波器)、微彈簧,RF等。
產品介紹:
由于材料中x射線的折射率略小于1,所以x射線透鏡有一個雙凹透鏡原件,每個聚焦元的焦距都非常小。通過線性地對齊許多元件,焦距可以顯著地減少到幾厘米的范圍。

沿光軸放置許多小透鏡元件,使入射的x射線光束逐漸聚焦到一個微米級焦點上。使用90度交替排列的原件使用垂直方向和水平方向都可以實現聚焦。透鏡元件的由SU-8光刻膠制成的,像聚合物在硅晶圓上。環氧樹脂抗蝕劑SU-8過去常使用在平板印刷過程中,它主要由高靈敏度、高靈敏度、x射線透明,且化學性能好和機械穩定性的特點。目前透鏡的X射線穩定性已經測試到了≈2 MJ/cm3。
優勢:
光軸不發生改變
聚焦質量不會因長時間曝光而改變
易于安裝
菲涅爾透鏡可選

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1. 光子能量(KEV)(單色)
2. 光源尺寸(V [µm]× H [µm], FWHM)
3. SD,光源到鏡片中心距離(m)
4. WD, 工作距離,鏡片中心到焦點距離(mm)
5. 光源和透鏡間光學元件(虛擬光源,聚焦元件)的位置和和這些元件所在位置的光束尺寸。
6. 需要的聚焦光斑尺寸:(V [μm]× H [μm], FWHM)
7. 鏡頭中心到探測器平面的距離