MSA-600顯微式激光測振儀
產品特點：
? 微型結構的面外振動，測量單點振動或者兩點間的相對振動
如：梳齒驅動器、射頻MEMS開關、FEM有限元模型驗證、CMUT、PMUT*、MEMS薄膜壓力傳感器、PZT壓電懸臂梁等
? 微型結構的面內振動
如：梳齒驅動器、MEMS扭轉激振器、壓電陶瓷制動器的橫向運動
? 微型結構的表面形貌
如：梳齒驅動器、微型齒輪、微流量傳感器、懸臂梁等表面形貌
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