高精度顯微鏡物鏡掃描儀 --- 高精度亞納米物鏡掃描臺(tái)/定位臺(tái)！

高精度顯微鏡物鏡掃描儀

高精度亞納米物鏡掃描臺(tái)/定位臺(tái)！


上海昊量推出的物鏡掃描臺(tái)采用壓電陶瓷直推，以柔性鉸鏈為導(dǎo)向使物鏡掃描臺(tái)具有結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、無機(jī)械摩擦、定位分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，采用硅位移傳感器，物鏡掃描臺(tái)相比于傳統(tǒng)的電容式位移傳感器，物鏡掃描臺(tái)硅傳感器使平移臺(tái)擁有更高的精度和線性度以及較低的底噪。物鏡掃描臺(tái)的精度可以達(dá)到亞納米，底噪低至10pm。

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昊量光電推出的壓電平移臺(tái)是為了滿足超精密定位應(yīng)用的需求。該平移臺(tái)采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，以柔性鉸鏈為導(dǎo)向使其結(jié)構(gòu)緊湊、擁有小的體積、無摩擦、無間隙、定位分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。采用硅高精度位移傳感器，與電容位移傳感器相比擁有更高的精度、線性度和非常低的底噪。由于其具有較高的精度、線性度和較低的底噪等優(yōu)點(diǎn)，被廣泛的應(yīng)用于超分辨率顯微鏡，光學(xué)捕獲和原子力顯微鏡等領(lǐng)域。

上海昊量推出的物鏡掃描臺(tái)主要有AU-FOC和AU-FOCHS.100兩款產(chǎn)品。

AU-FOCHS采用管狀設(shè)計(jì)，專門用于顯微鏡物鏡快速高精度定位。該物鏡掃描臺(tái)可提供行程可達(dá)到100μm，精度可達(dá)到0.1 nm，諧振頻率可達(dá)到1175Hz。它由鋁、鋼和黃銅構(gòu)成，配備硅傳感器，可提供皮米級(jí)的穩(wěn)定性。以上優(yōu)點(diǎn)使其擁有廣泛的應(yīng)用，例如，激光加工、自動(dòng)聚焦等還可以與自動(dòng)對(duì)焦穩(wěn)定系統(tǒng)結(jié)合使用。

AU-FOC是一款專門用于顯微鏡物鏡準(zhǔn)確定位的設(shè)備。該物鏡掃描臺(tái)可提供100/200/300μm不同行程。該物鏡掃描臺(tái)由鋁和黃銅構(gòu)成，結(jié)合硅傳感器可提供皮米量級(jí)的穩(wěn)定性。

以上兩款物鏡掃描臺(tái)的黃銅安裝環(huán)可以輕松更換，因此幾乎所有的物鏡都可以與這兩款物鏡掃描臺(tái)結(jié)合使用。可用的物鏡大小有RMS, M25, M26, M27 and M32.


產(chǎn)品特點(diǎn)
l 高分辨率（0.01nm）
l 高速度，諧振頻率可達(dá)1175Hz
l 采用硅傳感技術(shù)
l 超低底噪
l 柔性鉸鏈導(dǎo)向


主要應(yīng)用
l 自動(dòng)聚焦系統(tǒng)
l 共焦顯微鏡
l 3D成像
l 超分辨顯微鏡
l 半導(dǎo)體計(jì)量學(xué)

產(chǎn)品參數(shù)：