激光測振儀(進口)位移分辨率高達0.008納米。測量物體振動的速度,加速度,位移,運動軌跡,頻率.全場激光測振實現整面物體的XY軸的振動測量可以彩色動畫輸出。三維激光測振可以實現三軸振動測量。多點激光測振可以同時實現16個振動點振動并可以測量物體瞬間振動和實時的振動模擬

白光干涉儀:非接觸式三維表面形狀測量儀可以沿垂直軸方向對被測物體進行掃描，它采用光學干涉技術，精密測量樣品的表面形狀分布。
與共聚焦顯微鏡、調焦顯微鏡等三維表面測量技術相比，該表面形狀測量儀具有更高的垂直分辨率。

Sunny VSI三維表面形狀測量儀可安裝在配套的三維數控平臺上，實現橫向掃描。

系統構成
1）光學照明系統
2）光學成像系統
3）垂直掃描控制系統：
4）信號處理系統：
5）應用軟件：
6）顯示器

應用領域
LED晶片基板測量
表面粗糙度/平整度分析
硬盤懸臂焊接點的直徑測量
太陽能電池紋理缺陷檢測

參數 白光干涉儀型 號 Sunny VSI
垂直測量分辨率 0.05um
橫向測量分辨率 2.767um/plxels
圖像分辨率 768*576 plxels
掃描體積 2.125mm*1.593mm*100um
均方根值重復精度 <0.5nm