Gentec-R53系列閥芯提升式減壓器

結 構 特 點：

單級式減壓結構

母體進氣接口：1/4" NPT(F)

安全壓力：1.5 倍的zui大輸入壓力

適用溫度：-40°C ~74°C (-40°F ~165°F)

泄漏率：2×10-8 atm.cc/sec He

CV 值：0.14

重量：0.9 kg (2.0 lbs)

材 質

母體：316L

閥座：PCTFE

膜片：316L, Hasloy®

適用范圍：

半導體制程

實驗室

氣相分析

測試儀表

石油化學工業

電廠設備