| 型號 | VME222 | VME322 | VME432 | ||
| 行程(mm)* | 200×200×200 | 300×200×200 | 400×300×200 | ||
| 外型尺寸(mm) | 1040×740×1620 | 1040×740×1620 | 1240×800×1620 | ||
| 重量(kg) | 240 | 250 | 310 | ||
| 承重(kg) | 25 | 25 | 25 | ||
| 測量精度 | XY軸** | E2=(2.6+L/200)μm | E2=(3.0+L/200)μm | ||
| Z軸*** | E1=(5.0+L/200)μm | ||||
| 速度 | XY軸 | 500mm/S | |||
| Z軸 | 100mm/S | ||||
| 光柵尺 | 1.0μm分辨率 | ||||
| 導軌 | Hiwin | ||||
| 圖像傳感器 | 高清晰彩色工業攝像機 | ||||
| 光源**** | 輪廓光 | LED冷光源，256級亮度可調 | |||
| 表面光 | 6環8區LED冷光源，各段獨立操控，256級亮度可調 | ||||
| 光學鏡頭 | TZTEK電子卡位鏡頭，6.5:1連續變倍 | ||||
| 放大倍率***** | 光學放大倍率：0.7～4.5×；影像放大倍率：28～184× | ||||
| 軟件 | Vispec測量軟件（VME版） | ||||
| 運動控制 | 自主的CNC直流伺服系統 | ||||
| 保修期 | 1年 | ||||
| 工作環境 | 溫度20℃±2℃，濕度30～80% | ||||
| 振動<0.002g，低于15Hz | |||||
| 電源 | 200~240Vac ，50/60Hz，單相，700W | ||||
* Z軸標配有效測量行程135mm，可加高至300mm。
** L表示測量長度，以毫米為單位。
*** Z軸的機械精度，聚焦的精度與工件表面有很大關系。
**** 同軸光可選配，技術參數同輪廓光。
***** 放大倍率為近似值，具體指與顯示器的尺寸以及顯示器的分辨率相關；客戶可根據需求選配0.5×或2×附加鏡，實現影像放大倍率14～92×或56～368×。
◆ 實現XYZ三軸CNC全自動測量；
◆ 三軸CNC控制系統，穩定安全地控制平臺移動；
◆ 6環8區可控光源系統，智能實現256級亮度調節；
◆ 進口工業數字彩色相機，滿足清晰觀察和穩定測量的需求；
◆ 配備業內的影像測量軟件Vispec,測量功能全備；
◆ 可設置自動測量任務，高效快速完成批量測量；
◆ 業內的電子卡位鏡頭，輕松實現倍率切換，無需重新標定；
◆ 可根據用戶需求，加裝激光、探針等各種附件；
◆ 多樣化的輸出報告、SPC數據分析。
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