RegulusSU8010是日立的SEM的全新品牌，新品牌 "Regulus系列" 電子光學系統(tǒng)進行了化處理，使得著陸電壓在1kV時分辨率較前代機型提高了約20％。另外，低加速電壓下高分辨觀察的冷場電子槍可將樣品的細節(jié)放大，并獲得高質量的圖片。放大倍率也由之前的100萬倍提高到了800萬倍。除此之外，為了能更好的應對不同樣品的測試和保持并發(fā)揮出高性能，還對用戶輔助工能進行了強化，如信號檢測系統(tǒng)的操作輔助功能，維護輔助功能等。

日立SU-8010

掃描電子顯微鏡（SEM）被廣泛應用于納米材料、高分子復合材料、生物材料、能源類鋰電池材料/太陽能材料、礦物材料、冶金粉末、金屬材料、合金材料、陶瓷材料、半導體材料、考古文物等。近年來，新一代的電子器件應用中受到廣泛期待的新型碳材料，高分子材料，復合材料等的研究作為科學技術的中堅技術，在范圍內(nèi)受到熱捧。掃描電子顯微鏡廣泛用于這些材料的觀察和評價，但僅僅具有超高分辨率還遠遠不夠。還要求能在低加速電壓下對表面細微結構的觀察和高靈敏度的元素分析。除此之外，在長期的研究過程中還追求電鏡的性能的持續(xù)穩(wěn)定和信賴性。