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國儀量子 SEM5000場發射掃描電子顯微鏡

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SEM5000是一款分辨率高、功能豐富的場發射掃描電子顯微鏡。的鏡筒設計,高壓隧道技術(SuperTunnel)、低像差無漏磁物鏡設計,實現了低電壓高分辨率成像,同時磁性樣品可適用。光學導航、完善的自動功能、精心設計的人機交互,優化的操作和使用流程,無論經驗是否豐富,都可以快速上手,完成高分辨率拍攝任務。 ...

詳細信息 在線詢價

SEM5000是一款分辨率高、功能豐富的場發射掃描電子顯微鏡。

的鏡筒設計,高壓隧道技術(SuperTunnel)、低像差無漏磁物鏡設計,實現了低電壓高分辨率成像,同時磁性樣品可適用。光學導航、完善的自動功能、精心設計的人機交互,優化的操作和使用流程,無論經驗是否豐富,都可以快速上手,完成高分辨率拍攝任務。

電子槍類型 分辨率 放大倍率 加速電壓 樣品臺
肖特基
場發射電子槍
0.9 nm @ 15 kV,SE
1.3 nm @ 1 kV,SE
0.8nm @ 30 kV,STEM
1 ~ 2,500,000 x 20 V ~ 30 kV 五軸全自動樣品臺

產品特點

01 分辨率高,低加速電壓下實現高分辨成像

02 電磁復合物鏡,減小像差,顯著提高低電壓下的分辨率,而且可觀察磁性樣品

03 高壓隧道技術(SuperTunnel) ,在隧道中的電子能保持高能量,減少了空間電荷效應,低電壓分辨率得到保證

04 電子光路無交叉,有效的降低系統像差,提升分辨能力

05 水冷恒溫物鏡,保證物鏡工作的穩定性、可靠性和可重復性

06 磁偏轉六孔可調光闌,自動切換光闌孔,無需機械調節,實現高分辨率觀察或大束流分析模式快速切換

應用領域

應用案例

產品參數

關鍵參數 分辨率

0.9 nm @ 15 kV,SE
1.3 nm @ 1.0 kV,SE

0.8 nm @ 30 kV,STEM

加速電壓 20 V ~ 30 kV
放大倍率 1 ~ 2,500,000 x
電子槍類型 肖特基場發射電子槍
樣品室 真空系統 全自動控制
攝像頭 雙攝像頭
(光學導航+樣品倉內監控)

樣品臺行程

X: 125 mm,Y: 125 mm,Z: 50 mm
T: -10°~ +90°, R: 360°

(* 可選配超大倉體版本)

探測器和擴展 標配 鏡筒內高角度電子探測器
側向低角度電子探測器
選配

插入式背散射電子探測器
STEM自動插入式掃描透射探測器
樣品交換倉
高速束閘和電子束曝光
EDS能譜儀
EBSD背散射衍射
EBIC電子束感生電流
CL陰極熒光
高低溫原位拉伸臺
納米機械手
大圖拼接

軌跡球 & 旋鈕控制板

軟件 語言 中文
操作系統 Windows
導航 光學導航、手勢快捷導航
自動功能 自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散



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