本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：如作為CVD系統使用，需自備氣源（標準帶有寶塔接頭，可自費改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺：尺寸1200mm×600mm×700mm，承重300kg以上

5、通風裝置：需要

技術參數

1、電源：AC 220V  50Hz/60Hz   4KW

2、剛玉管：外徑?80mm，內徑?72mm，長800mm

3、加熱元件：U型硅鉬棒

4、加熱區域：150mm

5、工作溫度：最高1700℃（<1h），連續工作800-1600℃

6、控溫精度：±1℃

7、熱電偶：B型

產品規格

尺寸：490mm×490mm×1130mm；重量：150kg

標準配件

1

剛玉管

1根

2

氧化鋁管堵

4個

3

不銹鋼法蘭

1套

4

熱電偶

1個

5

高溫手套

1雙

可選配件

1、KF25轉接頭

2、不銹鋼卡套接頭