大承載
 | (1) 大承載 (2) 行程可選100-300mm (3) 性價比高 |
| 產品型號 | FMS120-100 | FMS120-200 | FMS120-300 |
| 行程（mm) | 50 | 50 | 50 |
| 負載(Kg） | 20 | 20 | 20 |
| 分辨率（um) | 2.5 | 2.5 | 2.5 |
| 最小運動增量(um)【1】 | 4 | 4 | 4 |
| 單向重復定位精度/保證值*(um) | ±4 | ±5 | ±5 |
| 單向重復定位精度/典型值*(um) | |||
| 雙向重復定位精度/保證值*(um) | ±8 | ±10 | ±10 |
| 雙向重復定位精度/典型值*(um) | |||
| 準確度/保證值*(um) | ±15 | ±20 | ±20 |
| 準確度【2】/典型值*(um) | |||
| 速度（mm/s) | 40 | 40 | 40 |
| 直線度(um) | 15 | 15 | 15 |
| 平整度(um) | 15 | 15 | 15 |
| Yaw-偏擺(")【3】 | 30 | 30 | 30 |
| Pitch俯仰（"） | 30 | 30 | 30 |
| 持續推力（N) | / | / | / |
| 峰值推力（N） | / | / | / |
| 外形尺寸(mm) | 360x120x56 | 460x120x56 | 560x120x56 |
| 臺面尺寸（mm) | 120x120 | 120x120 | 120x120 |
| [1]：最小運動增量不等同于分辨率，最小運動增量是指運動系統在連續、穩定情況下能夠移動的最小量。一般來說，系統分辨率遠小于最小運動增量。考慮傳動結構和編碼器對系統誤差的影響，直線電機位移臺與步進電機位移臺相比，其最小運動增量更加接近于分辨率。 [2]：準確度和重復定位精度是容易混淆的概念。一般采用打靶描述可以容易的區分這兩個概念。 [3]：只有直線度、平行度、Pitch、Yaw等參數都達到高水準要求，運動系統的準確度、重復定位精度才能達到高精度水平。也就是說，客戶一般只需要考慮準確度與重復定位精度是否滿足應用需求就可以選擇到滿意的位移平臺。當客戶對平臺運動有更高要求時，非軸向參數是需要考慮的。 *：典型值和保證值的區別見技術指南 | |||
產品特性：
  | 步進電機的特征是采用開回路控制（Open-loop control）處理，不需要運轉量傳感器（sensor）或編碼器，且切換電流觸發器的是脈沖信號，不需要位置檢出和速度檢出的回授裝置，所以步進電機可正確地依比例隨脈沖信號而轉動，因此達成精確的位置和速度控制，且穩定性佳。 |
| 德國的G1等級導軌 |  |
  | 的機械加工要求，保證Pitch、Yaw等基本參數的穩定 |
| 標準接口 像搭積木一樣搭建運動控制系統 |  |
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