2.6 升的LOW-COST-PLASMA-LABORANLAGE ZEPTO 為手動型，配有 PC 和 PCCE 控制系統，主要用于以下領域：
小批量生產
分析 (REM, TEM)
醫療技術
滅菌
研究和開發部門
考古
紡織技術
塑料技術
系列 | Zepto |
控制系統 | 手動型 PCCE 控制系統 (Microsoft Windows CE) PC 控制系統 (Microsoft Windows POS Ready 2009) |
體積 | 1.7~2.6L |
真空腔室 | 圓形石英玻璃 (UHP)，配有蓋子 圓形硼硅玻璃 (UHP)，配有蓋子 |
電極 | 單層或多層 |
樣品支架 | 鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃 |
氣源 | 針型閥 質量流量控制器 (MFCs) |
壓力計 | Pirani |
計時器 | 數字型 |
高頻電流發生器 | 40 kHz: 功率 0 - 100 W 13.56 MHz: 功率 0 - 50 W, 0-300W |
真空泵 | 4m3/H |
其他選項
備件套件、壓力計、腐蝕性氣體設計結構、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、Faraday Box、等離子體聚合配件、測試墨水、 氧氣發生器、慢速通風裝置、慢速抽吸裝置、TEM樣品架法蘭、維護/服務、當地語言的文件、現場安裝，包括培訓。可應要求提供的其他選項。
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