SJ6000sj6000激光干涉儀器以光波為載體，其光波波長可以直接對米進行定義，是高精度、高靈敏度測量儀器，廣泛應用于機床、機器人、3D打印設備、精密機械設備、精密檢測儀器、三坐標、自動化設備、線性位移平臺等領域的線性測量。

激光干涉儀主要用途是測量目標的運動狀態，即目標的線性位移大小、直線度、垂直度、旋轉角度（滾轉、俯仰和偏擺）、兩個目標在運動的平行性（度）、平面度等。不管是數控機床的導軌還是光刻機的機臺，不管是飛行物還是京植物的變形、熱膨脹，都要用到高精度激光干涉儀的測量，得到目標的運動狀態。如精密機械設備、各類機床、三坐標測量機、機器人、線性位移平臺、3D打印設備、自動化設備、精密檢測儀器等領域的線性測量。

中圖儀器

sj6000激光干涉儀器的主要的應用之一就是機床精度檢測。可以通過與不同的光學組件結合，對數控機床進行動態性能檢測，如可以測量數控機床的定位精度、重復定位精度、微量位移精度等動態參量。其線性定位測量的精度是0.5ppm，可以滿足現在所有類型數控機床精度檢測，它可以棄普通車間進行應用，具有更強的環境適應能力，同時可進行動態高速測量，配以相應元件后還可以測量角度、線速度、平面度、振動幅度及速度等。

SJ6000激光干涉儀搭配不同的鏡組還可以實現機床定位精度、重復定位精度、直線度、平行度、垂直度、偏擺角度等幾何精度測量。

應用：檢測五軸機床旋轉軸精度

測量系統：激光頭+角度干涉鏡+角度反射鏡

旋轉軸的角度反射鏡是安裝在轉臺組件上，該組件可以繞中心自身旋轉。在測量時，待測的旋轉軸向正方向旋轉某一個角度后，轉臺組件會沿著其逆方向精確地旋轉該角度，例如待測軸沿正方向旋轉15°，由于誤差的存在，則可能旋轉（15+ Δ）°；此時，轉臺組件會沿著逆方向精確旋轉，即沿負方向精確旋轉 15°，這樣就使得角度干涉鏡可以保持正對著激光頭。而誤差 Δ就是旋轉軸的定位誤差。

產品特點

SJ6000激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體：

采用高速干涉信號采集、調理及細分技術，可實現高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率；

采用進口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時；

采用高精度環境補償模塊，可實現激光波長和材料的自動補償；

采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗干rao能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出；

采用高性能計算機控制系統及軟件技術，支持中文、英文和俄文語言，友好的人機界面、向導式的操作流程、簡潔化的記錄管理。

SJ6000

sj6000激光干涉儀器以光波為載體，其光波波長可以直接對米進行定義，是高精度、高靈敏度測量儀器，廣泛應用于機床、機器人、3D打印設備、精密機械設備、精密檢測儀器、三坐標、自動化設備、線性位移平臺等領域的線性測量。