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ATLEX-FBG 系列*

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ATLEX-FBG 系列*


TMC外殼

電暈預電離技術

固體開關

激光頭尺寸＜3I

風冷，熱管理

可沖洗光學架

集成4氣門系統，便于氣體處理

RS485，RS232，USB，FOC接口

帶有能量穩定模式

CE歐標，RoHS認證


指標：

氣體

ArF

KrF

波長（nm）

193

248

高壓開關

固體開關

固體開關

大脈沖能量(mJ)1)

10

15

大平均功率

ATLEX-300-FBG

ATLEX-500-FBG （W）

2.4

4.0

4.0

6.5

空間相干性 （μm）

＞300

＞300

重頻

ATLEX-300-FBG

ATLEX-500-FBG (Hz)

300

500

脈沖寬度 （ns）

5-8

光束尺寸（V x H）(mm)2)

4x6

發散角（V x H）（mrad）2)

1x2

能量穩定性

＜3%

尺寸 (mm)

540x470x370

重量 （kg）

60

冷卻方式

Air

供電要求

230VAC/6,3A/50-60Hz/1Phase

1） 在低頻時測量；穩定模式下，允許10%的能量和功率下降

2） 典型值，FWHM


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