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SKY CDG025D 0.1 ... 1000 托 / 毫巴

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好處

  • Fully compatible with competive products
  • 全刻度范圍從 100 毫托 … 1000 托
  • 電源接通后快速穩(wěn)定
  • 暴露于大氣壓后快速恢復(fù)
  • 防腐陶瓷傳感器
  • 的*信號(hào)穩(wěn)定性
  • 溫度補(bǔ)償
  • 傳感器防污染保護(hù)
  • 一鍵調(diào)零功能
  • 電源范圍廣

典型應(yīng)用

  • 用于刻蝕、CVD、PVD、ALD 的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備
  • 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和顯示制造設(shè)備
  • 工業(yè)真空設(shè)備
  • 常規(guī)高精度壓力測(cè)量

規(guī)格

類型 1000 Torr / 1100 mbar 500 ... 10 Torr / mbar 1 Torr / mbar 0.25 Torr 0.1 Torr / mbar
精度 (1) % of reading 0.2 0.2 0.2 0.25 0.5
溫度效應(yīng)          
零點(diǎn) percent FS/°C 0.005 0.005 0.015 0.02 0.02
滿量程 % of reading / °C 0.01 0.01 0.01 0.03 0.03
分辨率 percent FS 0.003 0.003 0.003 0.003 0.003
壓力,大 kPa (absolute) 400 260 260 130 130
反應(yīng)時(shí)間 (2) ms 30 30 30 130 130
低讀數(shù) percent FS 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01
建議的低讀數(shù) percent FS 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05
建議的低控制壓力 percent FS 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5
溫度          
運(yùn)行(環(huán)境) °C +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50
在法蘭處烘烤 (3) °C ≤110 ≤110 ≤110 ≤110 ≤110
貯存 °C –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65
電源電壓 V (dc) +14 … +30 +14 … +30 +14 … +30 +14 … +30 +14 … +30
功耗 W ≤1 ≤1 ≤1 ≤1 ≤1
輸出信號(hào)(模擬) V (dc) 0 … +10 0 … +10 0 … +10 0 … +10 0 … +10
保護(hù)等級(jí) IP 30 IP 30 IP 30 IP 30 IP 30
標(biāo)準(zhǔn)          
CE 合規(guī) EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 認(rèn)證 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1
電氣連接 D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male
暴露于真空的材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass
內(nèi)部容積          
1/2'' 管 cm³ (in.³)        
DN 16 ISO KF cm³ (in.³)        
DN 16 CF-R cm³ (in.³)        
8 VCR® cm³ (in.³)        
重量          
1/2'' 管 g        
DN 16 ISO KF g        
DN 16 CF-R g        
8 VCR® g        

(1) 非線性,遲滯,在 25 °C 環(huán)境工作溫度中的可重復(fù)性,2 小時(shí)工作后無(wú)溫度影響。

(2) 提高 10 … 90 % FS

(3) 非運(yùn)行

(4) * CDG025D-S

(5) 28% 鎳,23% 鉬,49% 鐵

(6) 18% 鉻,10% 鎳,3% 鉬,69% 鐵

零件號(hào)

1000 Torr / 1100 mbar
零件號(hào) 明細(xì)
375-000 CDG025D 1`000 Torr; 1/2¨tube
375-001 CDG025D型陶瓷薄膜規(guī)
375-002 CDG025D 1`000 Torr; DN16CF-R
375-003 CDG025D 1000 Torr; 8-VCR
376-000 CDG025D 100 Torr; 1/2¨tube
376-001 CDG025D 100 Torr; DN16ISO-KF
376-002 CDG025D 100 Torr; DN16CF-R
376-003 CDG025D 100 Torr; 8-VCR
377-000 CDG025D 10 Torr; 1/2¨tube
377-001 CDG025D型陶瓷薄膜規(guī)
377-002 CDG025D 10 Torr; DN16CF-R
377-003 CDG025D 薄膜規(guī)
378-000 CDG025D 1 Torr; 1/2¨tube
378-001 CDG025-D薄膜規(guī)
378-002 CDG025D 1 Torr; DN16CF-R
378-003 CDG025D型陶瓷薄膜規(guī)
379-000 CDG025D 0.1 Torr; 1/2¨tube
379-001 CDG025D 0.1 Torr; DN16ISO-KF
379-002 CDG025D 0.1 Torr; DN16CF-R
379-003 CDG025D 0.1 Torr; 8-VCR
383-001 CDG025D 20 Torr; DN16ISO-KF

數(shù)據(jù)表

手冊(cè)

手冊(cè)

三維步驟文件

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