P-725 PIFOC Long-Travel Objective Scanner

支持多個(gè)行程，系統(tǒng)中配有控制器

性能：

物鏡掃描定位，亞納米精度，毫秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間

采用電容傳感器直接測(cè)量，線性度

無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，物鏡補(bǔ)償量較小，具有超高聚焦穩(wěn)定性

采用PICMA壓電陶瓷促動(dòng)，超長(zhǎng)壽命

支持多光子顯微鏡長(zhǎng)行程掃描，掃描范圍460um

通光孔徑29mm

參數(shù)：

大尺寸：46*40.5*68mm	重復(fù)精度：±5nm
大目鏡直徑：39mm	推拉力：100/20N
閉環(huán)行程：100,250,400um	無(wú)負(fù)載下自振頻率：470Hz
傳感器：電容傳感器	剛度：0.23N/um
閉環(huán)分辨率：達(dá)0.65nm	串?dāng)_（X,Y）:100um行程下串?dāng)_20nm
線性度：0.03%

應(yīng)用：

3D成像

拍攝

干涉量度

度量衡

自聚焦系統(tǒng)

共聚焦顯微系統(tǒng)

生物技術(shù)

半導(dǎo)體測(cè)試