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Z-ΘX-ΘY motion 適合Z-ΘX-ΘY運動的雙傾斜平移臺

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 科藝儀器有限公司
  • 品牌
  • 型號 Z-ΘX-ΘYmotion
  • 所在地
  • 廠商性質 經銷商
  • 更新時間 2020/9/26 4:43:05
  • 訪問次數 180

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詳細信息 在線詢價

雙傾斜平移臺采用了2對APA35XS,可以產生3種類型的運動:
♦當兩對APA35XS同步致動時,Z軸運動(平移)可達35 μm
♦ 當兩個致動器以相反的相位致動時,ΘX 和/或 ΘY 運動(傾斜)可達+/- 2 mrad
雙傾斜平移臺基于致動器設計,配備應變計以消除回程差。為了獲得三維運動,需要4通道的驅動器。如果只要求兩個傾斜運動,則只需要兩個通道即可。(可使用75系列驅動器的推拉模式)

參數

單位

DTT35XS

型號

V- DTTXS35

備注

初步數據

傳感器

SG

主動軸

RX,RY,TZ

大空載位移[Tz]

um

35.0

大角位移

mrad(+/-)

2.00

出平面位移[Tx, Ty]

um

10.0

電壓范圍

V

-20…150

硬度

N/um

2.0

高度(Z 軸)

mm

22.0

直徑

mm

38.1

縱向分辨率[Tz]

nm

0.4

角度分辨率[Rx,Ry]

urad

0.02

質量

g

35

空載共振頻率(在致動方向)

Hz

3200

響應時間

ms

0.16

電容(每個電氣接口)

uF

0.50

機械接口(有效載荷)

平坦表面Ф15mm

機械接口(框架)

圓柱形 Ф38.1mm

電氣接口

PTFE insulated AWG 30 wires 100 mm long and shield with sub D15 connector


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