雙傾斜平移臺采用了2對APA35XS,可以產生3種類型的運動:
♦當兩對APA35XS同步致動時,Z軸運動(平移)可達35 μm
♦ 當兩個致動器以相反的相位致動時,ΘX 和/或 ΘY 運動(傾斜)可達+/- 2 mrad
雙傾斜平移臺基于致動器設計,配備應變計以消除回程差。為了獲得三維運動,需要4通道的驅動器。如果只要求兩個傾斜運動,則只需要兩個通道即可。(可使用75系列驅動器的推拉模式)
參數 | 單位 | DTT35XS |
型號 |
| V- DTTXS35 |
備注 |
| 初步數據 |
傳感器 |
| SG |
主動軸 |
| RX,RY,TZ |
大空載位移[Tz] | um | 35.0 |
大角位移 | mrad(+/-) | 2.00 |
出平面位移[Tx, Ty] | um | 10.0 |
電壓范圍 | V | -20…150 |
硬度 | N/um | 2.0 |
高度(Z 軸) | mm | 22.0 |
直徑 | mm | 38.1 |
縱向分辨率[Tz] | nm | 0.4 |
角度分辨率[Rx,Ry] | urad | 0.02 |
質量 | g | 35 |
空載共振頻率(在致動方向) | Hz | 3200 |
響應時間 | ms | 0.16 |
電容(每個電氣接口) | uF | 0.50 |
機械接口(有效載荷) |
| 平坦表面Ф15mm |
機械接口(框架) |
| 圓柱形 Ф38.1mm |
電氣接口 |
| PTFE insulated AWG 30 wires 100 mm long and shield with sub D15 connector |
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