TMC SEM-Base VI 主動壓電振動消除產品
SEM-Base VI是TMC STACIS主動壓電振動 xiao,除 產品系列的新一代產品。SEM Base VI設計用于承載所有商業掃描電子顯微鏡（SEMs）、多數聚焦離子束顯微鏡（FIB）及小型雙光束設備。

TMC SEM-Base VI 主動壓電振動消除產品

SEM-Base VI采用 du,特 串聯結構，振動傳感器測量的是地面振動，不是負載振動。這樣就確保了負載諧振將不會限制平臺的振動隔離或者引起不穩定性。振動傳感器采用低頻慣性速度傳感器，在測量亞Hz振動時具有 zui,大 的敏感度。加上TMC du,特 的壓電致動技術，SEM-Base VI即使在振動情況已經很好的地面上 也可以實現 chao,高 水平的振動 xiao,除。

優勢

硬式裝載技術 SEM-Base VI兼容 SEM 內部預裝的任何隔振系統， 從 0.6Hz 開始主動 qiang,力 消減地面低頻振動。

主動慣性振動 xiao,除 SEM-Base VI采用高靈敏度的低頻慣性速度傳感器，即使在安靜的地面上也可以達到高水平的振動衰減。

串行設計與壓電技術 du,特串行設計加上高強度壓電技術，SEM-Base VI不但達到了寬至 0.6Hz-150Hz的主動帶寬，更實現了 wu,與,lun,比 的慣性主動振動 xiao,除，2Hz以上的振動衰減可達90%以上。

wan,全 集成式的單平臺設計 SEM-Base Vi設計與制造的集成化，將安裝平臺的工作簡化到了 ji,致，簡單的定位與設置之后即可正常工作。

TMC SEM-Base VI 主動壓電振動消除產品

特色

● STACIS技術

● 主動慣性振動 xiao,除 系統

● 895×1124×160 mm（35.25×44.25×6.3 in.）

● 適合絕大多數商業SEMs

● 負載能力：408-1134 kg（900-2500 lb.）

● 隔振效率1Hz：40-70%

  隔振效率2Hz：90%

  隔振效率>3Hz：90-98%

● 6個主動自由度

● 安裝容易，調諧簡單

● 兼容所有設備內置的振動隔離系統

● 電源：

  100-240VAC，50/60Hz，<600W

● 是否需要空氣：非氣浮系統

● CE與RoHS認證

● wan,全 集成式的單平臺設計

● 可安裝腳輪，輕松便攜移動，無需搬運

● 兼容SEM-Lift系統

森泉為您的科研事業添磚加瓦：

激光控制：激光電流源、激光器溫控器、激光器控制、伺服設備與系統等等

探測器：光電探測器、單光子計數器、單光子探測器、CCD、光譜分析系統等等

定位與加工：納米定位系統、微納運動系統、多維位移臺、旋轉臺、微型操作器等等

光源：半導體激光器、固體激光器、單頻激光器、單縱模激光器、窄線寬激光器、光通訊波段激光器、CO2激光器、中紅外激光器、染料激光器、飛秒超快激光器等等

光機械件：用于光路系統搭建的 gao 品 zhi 無應力光機械件，如光學調整架、鏡架、支撐桿、固定底座等等

光學平臺：主動隔振平臺、氣浮隔振臺、實驗桌、剛性工作臺、面包板、隔振、隔磁、隔聲綜合解決方案等等

光學y件：各類晶體、光纖、偏轉鏡、反射鏡、tou射鏡、半透半反鏡、濾光片、衰減片、玻片等等

染料：激光染料、熒光染料、光致變色染料、光致發光染料、吸收染料等等