高精密勻膠機旋涂儀SC100
應用：在高速旋轉的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同，也和旋轉速度及時間有關。

產品介紹：

名稱：高精密勻膠機

型號：SC100-SE

產地：

高精密勻膠機旋涂儀SC100應用：在高速旋轉的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同，也和旋轉速度及時間有關。

產品描述：

高精密勻膠機旋涂儀SC100是一種小型、靈活和經濟的旋轉勻膠設備，它可以實現價值百萬美元設備（track）的上才可能達到穩定性和均勻性。

　　不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀；工業級別200瓦伺服電機系統，采用與track設備相同設計和程序，使您的工藝更具有實際應用意義；同類產品中*的大達到50000RPM/S的旋轉加速度，確保旋轉勻膠的穩定性和*的可重復性。

性能指標：

·         主機機箱采用不銹鋼材料（抗化學腐蝕易清潔）

·         旋涂程序：多可存100組程序，每組100步，每個步驟可精確到0.1秒

·         轉動速度：0-10,000rpm（更高速可選）

·         旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）

·         馬達旋涂轉速穩定性能誤差 < ±1rpm

·         轉速調節精度<1rpm，重復性< 1rpm

·         工藝時間設定： 0-3,000 sec/step，時間設置精度：0.1sec

·         支持wafer尺寸25px-200mm（8”圓晶）

·         旋涂作業均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內（需要去除邊緣3毫米區域測量）

產品優點：

·         全新的內部緊湊設計，縮小了設備的尺寸。

·         7"觸屏控制面板操作系統，更方便操作。

·         Telon ®/polyethylene “密閉碗”設計可適合各種材料勻膠工藝。

·         標準配置轉速10000rpm，并可根據用戶需要進行定制。

·         采用工業級別伺服電機，電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內部。

·         機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，*生銹，便于清洗。

·         排風和抽氣系統位計于載片臺之底部 （以利于排風效率和勻膠均一性）。

·         透明可視，耐化學腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業時*隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發。

產品外型尺寸：

　　　　　433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 標準設備結構
　　　　　306mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 可選分體結構