該系列掃描探針顯微鏡(SPM)有以下特點：

集成原子力顯微鏡(AFM)、摩擦力顯微鏡(LFM)和掃描隧道顯微鏡(STM)

原子力顯微鏡具有接觸、輕敲、相移成像等多種工作模式

具有I-V曲線和力曲線等測量分析功能

具有圖形刻蝕模式和矢量掃描模式的納米加工技術

樣品尺寸增大至直徑4.5cm、厚度2.5cm

操作簡便，只需要更換探針架，即可切換于STM和AFM等模式

全數字控制的參數設置和采集

系統狀態、儀器類型、掃描器和探針架參數智能識別和控制

數字控制反饋回路

16-bit分辨的A/D和D/A，多路同步數據采集和實時顯示

基于Windows 9X/ME/2000/XP的在線控制軟件和后處理分析軟件

計算機操作接口全程在線式幫助及智能提示

掃描圖像BMP/TIFF全兼容文件格式，當前全部工作環境參數同步保存

本底及比例的實時調整

實時定點測試功能

可連續采集、存儲和重現動態過程

方便的鼠標控制掃描區域平移、剪切功能，掃描角度連續可調

多種樣品傾斜度實時校正功能

樣品粒度和粗糙度自動分析

按功能模塊劃分的縱向插卡式結構，便于日后系統維護和升級

可附加第二顯示器和光學顯微輔助系統

技術參數：

分辨率：
掃描隧道顯微鏡(STM)：橫向 0.13nm 垂直 0.01nm（以石墨定標）
原子力顯微鏡(AFM)：橫向 0.26nm 垂直 0.1nm（以云母定標）

樣品尺寸：≤Φ45mm

樣品厚度：≤25mm

掃描范圍：標準配置1μm×1μm；20μm×20μm；高達100um X 100um的大范圍掃描器（選件）

圖像采樣點：512×512

zui大掃描速率：55000 P/S

進樣方式：步進馬達控制自動逼近，行程≤30mm，精度≤83nm

掃描控制：雙16-bit D/A（相當于26位精度）

數據采樣：雙16-bit A/D （相當于23位精度）