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臭氧的制備原理：無(wú)聲放電法（氣相中放電和液相中放電兩種），水處理中多采用氣相中放電。石墨和不銹鋼作為電極。
無(wú)聲放電原理：由于介電體的阻礙，只有極小的電流通過(guò)電場(chǎng)，即在介電體表面的凸點(diǎn)上發(fā)生局部放電。
在放電高速電子流的轟擊下：O2 ? 2O
3O ? O3 或O＋O2 ? O3
由于生成的臭氧的分解，生成的臭氧一般只占空氣的0.6－1.2％（體積比）。
氧氣生產(chǎn)臭氧的總反應(yīng)式：
3O2 ® 2O3---- 288.9 kJ（或144.4 kJ/mol-O3）
每生產(chǎn)1kg O3 需要消耗0.836kWh
由于95%左右的電能變成光能和熱能
實(shí)際電耗：15－20 kWh/kg-O3
無(wú)聲放電臭氧發(fā)生器：分為板式電極和管式電極兩種。
如何排出放電時(shí)產(chǎn)生的熱量，冷卻是提高臭氧產(chǎn)量的關(guān)鍵。臭氧產(chǎn)量與電壓的二次方成正比。但電壓過(guò)高，耗電量大，介電體容易被擊穿，一般電壓為：10－15kV。提高交流電的頻率，可增加放電次數(shù)，從而可提高臭氧的產(chǎn)量。放電間隙越小，越容易放電，產(chǎn)生無(wú)聲放電所需的電壓越小，耗電量越小，但間歇過(guò)小，介點(diǎn)體或電極表面要求越高，管式一般2－3.5mm。
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