FTM107-A膜厚監控儀

一．FTM107-A膜厚監控儀應用范圍：

FTM107-A膜厚監控儀適用于普通蒸發、磁控濺射、離子鍍等真空鍍膜厚度測量，通過觸摸屏和數碼管顯示，使您能獲取完整的沉積數據，包括速率、厚度、鍍膜曲線和鍍膜時間。

FTM107-A膜厚監控儀采用的觸摸屏技術，控制和顯示均通過觸摸屏實現；同時配有數碼管顯示實時速率和厚度，以適應習慣數碼管顯示的技術人員。到達設置厚度，自動關閉擋板或蒸發源。采用了更的軟件和硬件設備，進一步提高了儀器抗干擾能力。

二、FTM107-A膜厚監控儀技術特點：

1.全觸摸屏操作顯示，簡單易用；

2.顯示薄膜厚度，可控制二個擋板/蒸發源；

3.監控鍍膜層數達到99層；

4.提供RS232/RS485接口。

三、FTM107-A膜厚監控儀技術參數：

四．特殊功能：

（1）具有人工停止鍍膜功能

（2）可顯示鍍膜層、材料和使用晶體振蕩頻率百分比

（3）顯示鍍膜結束后的監測實厚、材料和層次