工作方式真空輝光等離子用途表面清洗、刻蝕、活化、改性
功率600（W）品牌戈德爾 Guarder
工作頻率13.56MHZ（Hz）

技術參數

>>設備外形尺寸:（不包括報警燈）650（W）×900（D）×1650（H）mm

>>真空倉體尺寸:（約100升） 420（W）×420（D）×570（H）mm

>>倉體結構:（不銹鋼材質） 9層鋁合金放電電極,陽極氧化處理

>>等離子發生器:  美國COMDEL射頻電源,功率0-600W連續調節,自動阻抗匹配，全電路保護，可連續長時間工作。

>>控制系統:PLC觸摸屏全自動控制，采用歐姆龍、施耐德等進口品牌電器元件,有手動、自動兩種控制模式，12”真彩 觸摸屏，西門子可編程控制器，可在線設定、修改、監控真空壓力、處理時間、氣體流量、等離子功率等工藝參數，并具有故障報警、工藝存儲、密碼鎖定、系統維護等多種功能。

>>真空系統:日本愛發科旋片真空泵 601 17L/S 中國臺灣新萊氣動角閥、充氣閥、德國英福康高精度真空計、傳感器

>>充氣系統: 美國AE高精度電子質量流量計（兩路氣體配制）、針閥 美國世偉洛克氣體管路及接口組件，德國雙級減壓閥 日本SMC及CKD高真空氣閥組件