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SKY CDG025D-X3 0.1 ... 1000 Torr / mbar 過程測量儀

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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詳細(xì)信息 在線詢價

好處

  • 從 100 mTorr 至 1000 Torr 的滿刻度量程
  • 電源接通后快速穩(wěn)定
  • 暴露于大氣壓后快速恢復(fù)
  • 防腐蝕陶瓷傳感器
  • 的*信號穩(wěn)定性
  • 溫度補(bǔ)償
  • 傳感器受雙重防污染保護(hù)
  • 一鍵調(diào)零功能
  • 寬范圍電源
  • 2個設(shè)定點
  • RS232 接口
  • 無塵室合規(guī)

典型應(yīng)用

  • 用于蝕刻、CVD、PVD 和 ALD 的半導(dǎo)體制造設(shè)備
  • 數(shù)據(jù)存儲和顯示器制造設(shè)備
  • 工業(yè)真空設(shè)備
  • 經(jīng)濟(jì)、高度精確的壓力測量

規(guī)格

類型 1000 Torr / 1100 mbar 500 ... 10 Torr / mbar 1 Torr / mbar 0.25 Torr 0.1 Torr / mbar
精度 (1) % of reading 0.2 0.2 0.2 0.25 0.5
溫度效應(yīng)          
零點 percent FS/°C 0.005 0.005 0.015 0.02 0.02
滿量程 % of reading / °C 0.01 0.01 0.01 0.03 0.03
分辨率 percent FS 0.003 0.003 0.003 0.003 0.003
壓力,大 kPa (absolute) 400 260 260 130 130
反應(yīng)時間 (2) ms 30 30 30 130 130 / 30 (3)
低讀數(shù) percent FS 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01
建議的低讀數(shù) percent FS 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05
建議的低控制壓力 percent FS 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5
溫度          
運(yùn)行(環(huán)境) °C +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50
在法蘭處烘烤 (4) °C ≤110 ≤110 ≤110 ≤110 ≤110
貯存 °C –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65
電源電壓 V (dc) +14 … +30 +14 … +30 +14 … +30 +14 … +30 +14 … +30
功耗 W ≤1 ≤1 ≤1 ≤1 ≤1
輸出信號(模擬) V (dc) 0 … +10 0 … +10 0 … +10 0 … +10 0 … +10
保護(hù)等級 IP 30 IP 30 IP 30 IP 30 IP 30
標(biāo)準(zhǔn)          
CE 合規(guī) EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 認(rèn)證 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1
電氣連接 D-Sub, 15-pin, male D-Sub, 15-pin, male D-Sub, 15-pin, male D-Sub, 15-pin, male D-Sub, 15-pin, male
設(shè)定點          
設(shè)定點數(shù)量 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2)
繼電器觸點 30 30 30 30 30
滯后 percent FS 1 1 1 1 1
暴露于真空的材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5))
內(nèi)部容積          
內(nèi)部容積 1/2'' 管 cm³ (in.³) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22)
內(nèi)部容積 DN 16 ISO KF cm³ (in.³) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22)
內(nèi)部容積 DN 16 CF-R cm³ (in.³) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22)
內(nèi)部容積 8 VCR® cm³ (in.³) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22)
重量          
重量 1/2'' 管 g 310 310 310 310 310
重量 DN 16 ISO KF g 330 330 330 330 330
重量 DN 16 CF-R g 350 350 350 350 350
重量 8 VCR® g 370 370 370 370 370

(1) 非線性,遲滯,在 25°C 環(huán)境工作溫度中的可重復(fù)性,2 小時工作后無溫度影響。

(2) 提高 10 ...90 % FS

(3) 僅用于壓力控制類型

(4) 非運(yùn)行

(5) 18% 鉻,10% 鎳,3% 鉬,69% 鐵

CDG025D-X3 PIM 2016_04_18.png

數(shù)據(jù)表

手冊

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