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BAG302 中到超高真空真空計

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好處

  • 測量范圍從 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar(1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr)
  • 雙標準長使用壽命氧化釔銥絲
  • 一體式主動測量儀,內置顯示器、設定點、模擬輸出和標準集成式 RS485 數字接口
  • 帶鍵盤的明亮的數字 OLED 顯示屏,簡化設置、操作和編程
  • 用戶可編程的設定點繼電器
  • 用戶可編程的顯示器單位:mbar、Torr 或 Pa
  • 用戶可選的發射電流自動設換范圍
  • 機械強度和堅固性
  • 各種法蘭的選擇
  • 易于更換的傳感元件
  • 合規和標準:CE、RoHS
  • 直接取代 Granville-Phillips® 354 Micro-Ion® 模塊 – 包括軟件命令在內的相同控制功能 (RS485)

    (Granville-Phillips® 和 Micro-Ion® 是 MKS Instruments, Andover, MA 的注冊商標)

典型應用

  • 對半導體過程和傳輸腔室的壓力測量
  • 工業鍍膜
  • 低真空至超高真空范圍內的一般真空測量和控制

新聞

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規格

類型 BAG302
測量范圍 1.3 x 10-9 ... 6.7 x 10-2
精度 (N2)  
1.3×10-8 … 6.7 ×10-2 mbar % of reading ±15
1×10-8 … 5×10-2 Torr % of reading ±15
可重復性 % of reading ±5
脫氣  
p < 6.7="" x="">-5 mbar electron bombardment, 2 min (default)
p < 5.00="" x="">-5 Torr (programmable between 2 ... 10 min)
溫度  
運行(環境) °C 0 ... +40
存儲 °C -40 ... +70
法蘭處烘烤(*傳感器,已拆下電子元件) °C 200
電源電壓 V (dc) +20 ... +28
模擬輸出信號 V 0 ... +9 (log-linear)
電壓與壓力 volts per decade 1
設定點繼電器 1 (single-pole double-throw relay (SPDT))
1 A at 30 V (dc) resistive, or V (ac) non-inductive
電氣連接 D-Sub, 9-pin, male for analog,D-Sub, 9-pin, female for RS485
接口(數字式) RS485
發射控制 manual
絲極 two Yt2O2 coated Ir
絲極狀態 display / digital output
數字功能 degas, filament on/off and emission control
暴露于真空的材料 Yt2O3, Ir, W, Ta, stainless steel, glass, Ni
安裝方向 any
內部容積 cm³ (in.³) 16.4 (1.0)
重量 KF / CF 270
BAG302 Ordering Information.PNG

數據表

手冊

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