Q300T ES Plus大腔室高真空離子濺射和熱蒸發一體化鍍膜儀
Q300T ES Plus是集成了離子濺射和熱蒸鍍兩種鍍膜方式的鍍膜系統。作為成功的Q系列濺射/碳鍍膜儀家族的一員，Q300T ES Plus是一個大腔室渦輪分子泵抽真空的鍍膜系統，非常適合在大直徑樣品或多個較小試樣上進行金屬蒸發鍍膜，Q300T ES Plus還配備了可互換的濺射頭和碳蒸發頭。
Q300T ES Plus在大的工作腔室內組合了離子濺射、金屬蒸發和碳蒸鍍系統。鍍膜頭可以在數秒鐘內更換，智能邏輯系統自動識別哪個鍍膜頭已就位，并顯示相應的操作設置。渦輪分子泵真空系統，電容觸摸屏控制，高分辨率離子濺射鍍膜、高真空碳棒鍍膜/金屬蒸發鍍膜；設有LED狀態指示燈。標配快速釋放離子濺射鍍膜頭和直徑57mm x 0.1mm的鉻靶、快速釋放金屬蒸發鍍膜頭，鍍膜頭可互換。標配直徑50毫米的晶圓樣品臺。配有用于高真空測量的全量程真空規組件。
有關采用三靶鍍制大面積相同材料的膜層，請參閱Q300T T Plus。其它大腔室鍍膜儀，請參閱K975X/K975S以及Q300T D Plus。
儀器特點：
• 電容式觸摸屏，靈敏度高，更易觸控使用
• 用戶界面軟件全面更新，使用現代智能手機技術界面
• 全面的文字幫助頁面
• USB接口可輕松進行軟件更新，也可將配方文件備份/復制到USB存貯器
• log文件格式為.csv，內含日期、時間和工作參數，可導出至Excel或類似軟件中分析
• 允許多用戶輸入和儲存鍍膜方案，并可根據近的使用情況來排列每個用戶的配方
• 雙核ARM處理器，可實現快速響應的顯示；帶觸摸屏按鈕的全圖形界面，包括近使用的1000個鍍膜日志和維護到期時的提醒等功能
• 全量程真空規
• 集成的離子濺射、金屬蒸發和碳蒸鍍一體化系統
• 可選膜厚監控附件（FTM），可選高腔室
• 大而多色的LED指示燈，實現可視化狀態指示；程序完成后具有音頻聲音提示
*應用：
• 在大直徑樣品或多個較小試樣上進行金屬蒸發鍍膜
• 高分辨鍍膜，SEM應用
• EDX, WDS, EBSD鍍碳
Q300T ES Plus是英國Quorum出品的認可的Q系列鍍膜儀的一部分，數千家客戶使用此類鍍膜儀。Q系列旨在為SEM、TEM和薄膜應用提供高質量的鍍膜解決方案，Q系列功能多樣、價格合理且易于使用。這些產品科研用途。
Q Plus系列鍍膜儀也有較小腔室的版本，請參閱：Q150R Plus、Q150T Plus以及Q150V Plus；SC7620和Q150GB也是可選的型號。
*您想獲取產品的資料：
個人信息：
