產品型號

高真空單室熱蒸發系統

主要特點

系統主要由真空室系統蒸發室、蒸發源系統、樣品臺系統、 真空抽氣及測量系統、氣路系統、控制系統、膜厚測試 系統、上蓋液壓開啟機構、電控系統組成。

技術參數

1、極限真空度5×10^-5Pa，系統漏率：1×10^-7PaL/S； 恢復真空時間：40分鐘可達6.6×10 Pa（短時間暴露 大氣并充干燥氮氣后開始抽氣）
2、真空室：圓形真空室，尺寸300× 350mm
3、樣品臺：尺寸為3英寸×3英寸，厚度3.2mm的平面樣品；
4、金屬電極：數量：1支，標準型釬焊間接水冷結構；直徑Φ20㎜，內水冷；
5、有機束源爐：數量：3支，標準型600度控溫，向上蒸發成膜；
6、樣品架：在基片轉盤上有1個基片位置放置樣品托（樣品托可以分別放置2英寸）孔安裝加熱爐。為了在2英寸基片臺范圍內提高膜厚均勻性，基片在鍍膜位置實現自轉。基片的溫度從室溫至600℃（硅片上表面的溫度，只需標定一次即可）；
7、4套擋板系統：基片擋板與源擋板；靶擋板共有3套，動密封手動控制； 樣品擋板（１套），磁力撥叉；
8、手動控制 氣路系統:質量流量控制器1路 石英晶振膜厚控制儀：膜厚測量范圍0-999999Å 可選分子泵組或者低溫泵組合渦旋干泵抽氣系統。

標準配件

可選配件