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X射線熒光鍍層厚度測量儀 FT9500系列
1. 薄膜?多層膜測量
2. 異物分析
3. 數據編輯功能
4. 高強度照射
X射線熒光鍍層厚度測量儀 FT9500系列通過采用新型的毛細管（X射線聚光系統）和X射線源，把與以往機型FT9500同等強度的X射線聚集在30 µmΦ的極微小范圍。因此，不會改變測量精度即可測量幾十微米等級的微小范圍。
同時，也可對幾十納米等級的Au/Pd/Ni/Cu多鍍層的各層膜厚進行高精度測量。
X射線熒光鍍層厚度測量 FT9500系列通過高能量微小光束和高計數率檢測器的組合，可進行微小異物的定性分析。利用CCD攝像頭選定樣品的異物部分并照射X射線，通過與正常部分的能譜差進行異物的定性分析（Al～U）。
X射線熒光鍍層厚度測量 FT9500系列配備了Microsoft® Excel和Microsoft® Word。在Microsoft® Excel上面配備了統計處理軟件，可以進行測量數據、平均值、zui大/zui小值、C.V.值、Cpk等的統計處理。 另外，通過Microsoft® Word可以簡單的制作包含了樣品畫圖的測量報告書。
X射線熒光鍍層厚度測量 FT9500系列X射線熒光鍍層厚度測量 FT9500系列通過高強度照射在微小部分也可以鮮明的觀察、聚焦位置。
X射線熒光鍍層厚度測量 FT9500系列配備等同與FT9550X的大型樣品臺，能夠對大型線路板等樣品進行整體排列測量對應。
| 型號 | FT9500 | FT9550 | FT9500L |
|---|---|---|---|
| 測量元素 | Al（13）～Bi（83） | ||
| X射線源 | 管電壓：50（可變更）kV 管電流： 10～1000 µA | ||
| 檢測器 | 半導體檢測器（無需液氮） | ||
| X射線聚光 | 聚光導管方式 | ||
| 樣品觀察 | CCD攝像頭（帶變焦功能） | ||
| 對焦 | 激光對焦 | ||
| 濾波器 | 一次濾波器：3個位置（自動切換） | ||
| 樣品區域 | X:240mm, Y:175mm X:220mm, Y:150mm, Z:150mm | X:420mm, Y:330mm X:400mm, Y:300mm, Z:50mm | X:840mm, Y:540mm X:400mm, Y:300mm, Z:50mm |
| 測量軟件 | 薄膜FP法（zui大5層、10種元素）、檢量線法、塊體FP法（材料組成分析） | ||
| 安全功能 | 樣品門聯鎖 | ||
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