“超靈敏快速檢測芯片式熱分析儀”項目由中國科學院上海微系統與信息技術研究所與廈門海恩邁科技有限公司聯合研發。傳統
熱分析儀器采用龐大的
熱天平結構,升降溫速率慢、測試時間長、樣品消耗量大、靈敏度低。本項目通過世界首創的可以片上加熱、測溫和稱重的MEMS集成微傳感芯片,替代傳統熱分析儀器的熱天平結構,研發出具有超靈敏快速檢測能力的芯片式熱分析儀,在核心參數上相比傳統儀器有數量級的提升,為材料開發、工藝優化、質量監控等提供有力支撐。該項目先后在Nano Lett.、Anal. Chem.等SCI期刊和國際頂級會議上發表論文117篇,授權發明專利43項,建立國家標準1項。該儀器產品遠銷國內外,已服務于新加坡國立大學、比利時魯汶大學、清華大學、上海交通大學等數十所國內外知名高校與研究所,推動其創新成果在國際知名期刊如Nat. Commun.、Angew. Chem. Int. Ed.、Nano Lett.等的發表。
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