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旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)可設(shè)定存儲26個不同樣片的旋轉(zhuǎn)涂敷工藝過程

閱讀:249      發(fā)布時間:2018-6-12
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主要特點(diǎn):
 *高精度26程序控制器:
    可設(shè)定存儲26個不同樣片的旋轉(zhuǎn)涂敷工藝過程;
    每個涂敷工藝過程可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài);
    加速度(及負(fù)加速度),可設(shè)置。
    中英文兩套操作系統(tǒng)供選擇。
    操作系統(tǒng)內(nèi)駐留涂敷工藝過程模板程序,方便快速調(diào)試并存儲程序。
    設(shè)置程序:標(biāo)準(zhǔn)通用符號,6鍵操作,人機(jī)交互式對話,提示操作。
    無需培訓(xùn),上手就會操作。
*可連接滴膠機(jī),自動控制在的瞬間滴膠,自動控制重復(fù)定量滴膠。
    的重復(fù)的自動控制操作,是人工不可能及的。
*工作腔可氮?dú)獗Wo(hù)。
    我們設(shè)備通過有效的惰性氣體保護(hù)機(jī)構(gòu),對所有的環(huán)境變量(溫度,濕度,潔凈度)有效控制,
    這一點(diǎn)針對科研實(shí)驗(yàn)的苛刻要求而開發(fā)。
*真空吸片,爪卡機(jī)構(gòu)。2種工作狀態(tài)隨意選擇。 爪卡機(jī)構(gòu)工作狀態(tài)無需真空泵。方便有空隙的材料及厚重材料涂膠。
*中心結(jié)構(gòu)定位:圓形基片使用工具完成中心定位。方便快捷,定位精度高。
    主機(jī)標(biāo)準(zhǔn)配備一片真空吸盤即可滿足(TA-280適用3英寸-11英寸基片);(TA-360適用3英寸-14英寸基片)。
    小于3英寸可使用定制真空吸盤。
*卡盤,吸盤品種豐富,適應(yīng)各種需要。
*真空吸片系統(tǒng)更安全:
    安裝有真空度傳感器,涂敷工作過程電腦實(shí)時檢測系統(tǒng)真空度,在安全的真空度下,
    電機(jī)啟動,運(yùn)行。保障可靠吸片,不飛片。運(yùn)行中失去真空,系統(tǒng)保護(hù)性停機(jī)。
*伺服電機(jī),轉(zhuǎn)速精度更高:300 - 10000 轉(zhuǎn)/分,轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性:+ - 0.1 % 很高轉(zhuǎn)速10000轉(zhuǎn)/分
*設(shè)備所用的天然聚丙烯(NPP)材質(zhì),食品級衛(wèi)生材料,易清潔,材質(zhì)性能穩(wěn)定,綠色環(huán)保型實(shí)驗(yàn)室的選擇。
 

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